WB5050是使用微波等离子体发生器的远程冷等离子体系统。手动设备适合于许多不同的应用，例如应力去除、特殊表面合理和晶圆减薄。该等离子系统的干法刻蚀作用是由下游腔室引导的活性等离子微粒（自由基）产生的纯化学反应。

WB5050微波等离子系统操作简便，易于手工装载和卸载。该工艺不需要任何额外的基体清洗。严格使用纯自由基进行表面处理。无电子和无离子工艺是成功处理NAND和DRAM等极端敏感的硅基体的关键因素。等离子体由位于工艺腔室顶部，距晶圆上方60厘米的2.45 GHz的磁电管产生，可以处理所有尺寸的晶圆，包括8"和12" 的带框架的晶圆。

该等离子设备适用于工艺开发和中试生产 

>> 相关应用

   - MEMS

   - 半导体晶圆刻蚀

   - 光刻胶清洗 

  - 等离子刻蚀活化

等离子清洗机 / 等离子刻蚀机 / 等离子处理机 / 等离子去胶机 / 等离子表面处理机

等离子清洗-等离子处理-等离子刻蚀-等离子去胶-等离子活化- 等离子表面处理 
    GDR-PLASMA   烟台金鹰科技有限公司成立于1995年，是专业从事真空及大气等离子清洗机、等离子处理机、等离子刻蚀机、等离子去胶机、等离子灰化机、等离子表面处理机、等离子表面处理设备，射频及微波等离子体技术研发、推广、销售于一体的高新技术企业，隶属于戈德尔等离子科技（香港）控股有限公司，总部设于香港 。 
生产工厂位于“中国金都”之称山东招远市经济开发区，公司品牌商标为:"戈德尔-Guarder”，引进德国先进等离子应用技术，其系列产品覆盖全国大部分省市，并出口北美、澳洲、中东、东南亚等地区。
烟台金鹰，作为专业的等离子清洗机/等离子处理机/等离子刻蚀机/等离子表面处理机专业制造企业，是ISO9001认证企业，公司拥有先进的低压、常压等离子清洗及等离子表面处理技术，并有完备的生产加工设备，可为客户提供特殊定制服务及短交期，已成为国内规模化生产能力的全系列等离子清洗机、等离子处理机及等离子表面处理设备公司。

等离子清洗机有几种称谓，英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机，等离子表面处理机,电浆清洗机，plasma清洗机，等离子去胶机，等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。通过其等离子表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

本公司有多名经验丰富的技术人员，先进的生产设备，可根据您的生产需求制作各类非标等离子清洗机，欢迎来本公司实地考察，货比三家

全自动等离子玻璃表面处理机放心的：//b2b.hc360.com/supplyself/733123912.html