低温等离子体处理技术，是一种中性的、无污染的干法处理既能清洗基体表面，又能对基体材料进行表面改性，改善基材表面能、浸润性、活化等性能。

何谓等离子表面改性? 等离子体表面改性可以用来使物体具有亲水性（吸水性/湿润性）或疏水性（防水性） 。

在等离子体表面处理中，等离子体与表面材料之间产生多种物理、化学反应，表面因产生刻蚀而变粗糙（表面能增加，与水分子之间的吸引力增加），同时引入不同的含氧（氧等离子体处理，或放置空气中后续产生后续氧化）极性基团，极性基团与有极分子水分子存在吸引力作用，增加了材料之间接触面积，同时表面含亲水基团增大了亲水性。

如今等离子清洗机以其精细清洁、无损改性、无废弃物、无污染、处理效果佳的优势已应用到印刷、玻璃、数码、塑料、金属、纺织印染、生物、药品、手机、医疗、电子、机械、电缆、光纤等行业之中，不仅解决了诸多行业产品生产过程中的问题，而且更大程度地增强了产品的耐久性和质量，拓宽了材料的应用领域。

? 表面清洁 (Plasma Cleaning)

等离子表面清洗

离子清洗是利用气体电离后产生的等离子体对污染表面进行物理溅射或化学反应的作用分解污染物，分解的产物随着气流被带离表面，从而获取清洁干燥的表面。

经等离子清洗机处理过的材料安全环保-无任何消耗品 -成本低 -对样品无任何损害-清洗效果优

? 表面活化 (Plasma Activation)

等离子体清洗机表面活化是物体经过等离子体清洗机处理之后表面能增强、提高粘合度，附着力；在等离子清洗设备产生的等离子体作用下，难粘塑料表面出现部分活性原子、自由基和不饱和键，这些活性基团与等离子体中的活性粒子接触会反应生成新的活性基团。但是，带有活性基团的材料会受到氧的作用或分子链段运动的影响，使表面活性基团消失。

在等离子体对材料表面改性中，由于等离子体中活性粒子对表面分子的作用，使表面分子链断裂产生新的自由基、双键等活性基团，随之发生表面交联、接枝等反应。

反应型等离子体是指等离子体中的活性粒子能与难粘材料表面发生化学反应，从而引入大量的极性基团，使材料表面从非极性转向极性，表面张力提高，可粘接性增强。

此外，难粘材料表面在等离子体的高速冲击下，分子链发生断裂交联，使表面分子的相对分子质量增大，改善了弱边界层的状况，也对表面粘接性能的提高起到了积极作用。

? 表面蚀刻 (Plasma Etching)

等离子体清洗机表面刻蚀指材料表面通过反应气体，等离子被选择性地刻蚀，被刻蚀的材料转化为气相并被真空泵排出，处理后的材料微观比表面积增加并具良好亲水性；

? 表面涂层 (Plasma Coating)

等离子体清洗机纳米涂层是将反应气体如: **(HMDSO)**胺(HMDSN)，四乙二醇二甲醚，六氟乙烷(C2F6)....] 引入等离子反应室，通过等离子聚合效应会在表面形成纳米涂层，这项技术可以运用到众多领域。

经过等离子清洗机的处理之后，等离子引导的聚合化作用形成纳米涂层。各类材料通过表面涂层，实现疏水性（疏水）、 亲水性（亲水）、疏脂性（防脂）、疏油性（防 油）

表面改性（亲水性和赤水性），等离子清洁，材料表面清洗,激活,蚀刻,涂层,灰化，等离子活化，刻蚀以及反应离子刻蚀，等离子沉积等应用

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