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上海瞻驰光电科技有限公司
商品详情
企业店铺
产品中心
研磨机,单面研磨机
参考价:
面议
具体成交价以合同协议为准
产品型号:
研磨机,单面研磨机
品牌:
--
厂商名称:
上海瞻驰光电科技有限公司
所在地:
--
联系电话: 登录可见
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企业档案
上海瞻驰光电科技有限公司
设备企业
主营业务:
--
所属地区:
--
详细地址:
上海市金山区枫泾镇环东一路65弄13号1477室
主要市场:
--
联系人:
李力钊
联系电话:
登录可见
产品详情
品牌:engis型号:
可用于2寸3寸4寸InP GaAs GaN
所属系列:半导体加工设备-减薄抛光设备-研磨机
操作界面人性化,人机交流非常简易
使用大粒径研磨液将Wafer快速减薄
可以控制Wafer目标厚度,将Wafer减薄至接近目标厚度时,借助厚度控制夹具Wafer将悬空丌再被研磨,可以双头、单片、多片加工,适合研发、量产,可兼容多尺寸Wafer
设备的设计理念及特征
搭载开槽装置的超高精密研磨设备EJW-400IFN 是采用高刚性机体和独自开发的水冷式主
轴,经常保持一定的定盘温度,并且可以在超低震动状态下高精度旋转。另外,由于采用
高精度的开槽装置,设备可以经常维持稳定高精度的定盘平坦度进行加工。
主要规格:
1-1研磨设备
设备型号EJW-400IFN
研磨盘直径外径φ380mm;内径φ140mm
定盘转速10~350rpm 可调(软起动/停机)
主电机200V 1.5Kw 3相
加压方式自重加压
工件固定方式通过使用陶瓷修正轮用滚轴手臂固定
主轴部分高刚性水冷主轴
尺寸940mm×1600mm×1460mmH*含防尘盖高度
重量1000Kg(NET)